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FIB-SEMシステム JIB-PS500i

日本電子 / 日本電子
ID:K04400
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高精度で加工できるFIBと高分解能を有するSEMの複合システム

    先端材料の構造微細化やプロセスの複雑化に伴い、形態観察や元素分析などの評価技術にも高い分解能と精度が求められています。半導体業界をはじめ、電池・材料分野での透過電子顕微鏡（TEM）用試料作製においては、"高精度"且つ"より薄く"が要求されます。
    本製品は、このニーズに応えるために高精度で加工できるFIB（集束イオンビーム加工装置）と高分解能を有するSEM（走査電子顕微鏡）の複合システムです。

    TEM試料作製をアシストする3つのソリューションを提供します。
    試料作製からTEM観察まで、確実かつ高スループットなワークフローで作業することができます。

  • TEM-LINKAGE
    二軸傾斜カートリッジ*とTEMホルダー*によりTEM⇔FIBのリンクを容易にします。
    カートリッジは専用のTEM 試料ホルダーにワンタッチで装着できます。
  • CHECK-AND-GO
    TEM試料を確実に作製するためには、作製した試料をその場でチェックできることが重要です。
    JIB-PS500iでは、TEM試料作製からシームレスにSTEM観察に移行できます。
    薄片加工⇔STEM観察の繰り返しにより、納得のいく試料作製が行えます。
  • AUTOMATIC PREPARATION
    自動TEM試料作製システムSTEMPLING2*により、TEM試料作製を自動化します。
    自動で試料作製を行うので、オペレータースキルによる品質のばらつきがありません。

    • *オプション

仕様

シリーズ JIB-PS500i
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