IB-19520CCP
加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事が出来ます。シリーズ | IB-19520CCP |
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本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm |
本体:690×720×530 ロータリーポンプ:120×288.5×163 |
重さ | 本体:約75kg ロータリーポンプ:約9.3kg |
電源 | 単相AC100~120V 50/60Hz |
イオン加速電圧 | 2~8kV |
ミリングスピード | 500μm/h以上(加速電圧8kV)*1 |
試料スイング機能*2 | ±30°自動スイング |
自動加工開始モード | 〇 |
自動冷却加工開始モード / 自動室温復帰モード |
〇 |
試料ステージ冷却到達温度 | -120°C以下 |
冷却温度設定範囲 | -120~0°C |
試料冷却-100°C到達時間 | 60分以内 |
試料冷却保持時間 | 8時間以上*3 |
大気非曝露機能 | 〇 |
間欠加工モード | イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能(ON:1~999秒、OFF:1~999秒) |
仕上げ加工モード | 自動的に加工条件切り替え |
広域断面ミリングモード*4 | 最大加工幅:8mm(オプション:広域加工ホルダー IB-11730LMH) |
最大搭載試料サイズ 断面ミリング |
11mm(幅)×8mm(長さ)×3mm(厚さ)(標準付属試料ホルダー) 25mm(幅)×15mm(長さ)×10mm(厚さ)(オプション:広域加工ホルダー B-11730LMH) |
最大搭載試料サイズ 平面ミリング |
40mm(直径)×15mm(厚さ)(オプション:大形試料回転ホルダーIB-11550LSRH) |
試料移動範囲 | X軸:±6mm、Y軸:±2.5mm |
操作法 | タッチパネル、6.5型ディスプレー |
加工位置合わせ法 | カメラにより試料ステージ上をモニター*5。 光学顕微鏡下でも加工位置調整可能 |
位置合わせ用カメラ倍率 | 約×70(6.5型ディスプレー上) |
加工観察用カメラ倍率 | 約×20~×100(6.5型ディスプレー上) |
外部モニター出力*6 | 位置合わせ用カメラと加工観察用カメラを切り替えて外部モニターに表示可能(EC-10020VST取り付け時) |
プリセット機能 | 加工条件(加速電圧、アルゴンガス流量、加工時間、間欠加工)を4組プリセット |
希望小売価格 (税抜) |
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シリーズ | IB-10500HMS |
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品名 | クロスセクションポリッシャTM ハイスループットミリングシステム |
希望小売価格 (税抜) |
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